CCD靶面英寸是CCD器件的一个重要的硬件指标：“CCD靶面”英寸，所谓“CCD靶面英寸”是CCD感光列阵的大小，常见的有：1/1.8、1/2、1/3、1/4英寸，“CCD靶面”大小在一定程度上决定了其感光单元的数量，从而决着有效的像素能力，“CCD靶面”的感光单元的数量还受晶园科技的加工水平影响，目前仍以每两年半提高一倍发展，换句话说，相同的“CCD靶面”大小不一定具有相同数量的感光单元，要看它是使用多少纳米工艺，在230纳米工艺之后的90纳米工艺已被广泛使用，而45纳米工艺又已成形，CCD显微镜多半使用1/2、1/3英寸CCD器件，1/1.8英寸为专业相机“领地”，“CCD靶面”大小反应的是“光学像素”，依靠软件差补加大的“电子像素”提高不了成像质量，值得一提的是，市面上很多国产“高端”CCD工业或智能相机，多半都是通过差补加大CCD像素，质量很差。